品牌：Entegris (英特格)
系列：Panelgard PSX / PS 系列
過濾孔徑：0.003 μm (微米)
濾芯材質：超高分子量聚乙烯 (UPE) 或 聚四氟乙烯 (PTFE)
支撐結構材質：高純聚丙烯 (PP) 或 不銹鋼 (視具體子型號而定)
額定壓力：最大 1.0 MPa (20°C 時)
最高操作溫度：60°C (140°F)
密封圈材質：E-FKM (被覆氟橡膠) 或 特氟龍封裝密封圈
清除效率：對于額定孔徑以上的微粒清除率 >99.9999999% (9-log)
接口方式：Rc 1/8, M5, 或集成集成塊式接口
重量信息：凈重約 120g - 350g (根據殼體材質及連接方式有所差異)
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在半導體、平板顯示器以及精密電子制造的制程中，超高純工藝氣體的質量直接決定了器件的性能與可靠性。Entegris (英特格) Panelgard PSX 系列過濾器是專為解決先進制程中微粒污染問題而設計的高性能凈化組件。該系列產品憑借其卓越的攔截效率、超低的壓降表現以及極佳的化學兼容性，已成為全球半導體氣柜 (Gas Box) 和機臺點端 (Point-of-Use) 過濾的標準選擇。
核心技術與性能優勢
Panelgard PSX 系列采用了英特格專利的非對稱過濾膜技術。其核心優勢在于能夠在極小的空間內提供巨大的有效過濾面積，從而在實現 0.003 微米級極致過濾的同時，保持極佳的氣體通量。在半導體刻蝕、氣相沉積 (CVD) 及擴散工藝中，這種高效過濾能力能確保制程氣體不含任何有害微粒，有效預防因顆粒附著導致的電路缺陷，顯著提升晶圓的最終良率。此外，該產品具有極低的放氣性 (Outgassing)，確保了下游工藝環境的絕對純凈。
行業應用場景
此系列過濾器廣泛應用于各類高純氣路分配系統。在半導體前端工藝設備中，它通常被安裝在質量流量控制器 (MFC) 的上游或機臺的入氣口處。其堅固的結構設計使其能夠適應頻繁的壓力波動而不產生結構性破壞。由于采用了高性能的密封材料和精密焊接技術，Panelgard PSX 即使在長期處理腐蝕性或活潑氣體時，也能維持極高的密封安全性，防止劇毒或易燃氣體外泄。
安裝與集成優化
針對現代集成電路設備日益縮小的機箱空間，Panelgard PSX 提供了緊湊的一體化設計方案。與傳統的組合式過濾器相比，PSX 系列通過減少管路連接點，不僅降低了潛在的泄漏風險，還極大地簡化了氣路的布局。對于需要實時監控的需求，該系列可與英特格的數顯壓力感測組件無縫匹配。在維護方面，由于其具備高容塵量的特性，使用壽命較普通濾芯延長了 30% 以上，顯著降低了工廠的總體擁有成本 (COO)。
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PSX03002R, PSX03004R, PSX03002K, PSX03004K, PSX03002M, PSX03004M, PSX03002P, PSX03004P, PSX03102R, PSX03104R, PSX03102K, PSX03104K, PSX03102M, PSX03104M, PSX03102P, PSX03104P, PSX03202R, PSX03204R, PSX03202K, PSX03204K, PSX03202M, PSX03204M, PSX03202P, PSX03204P, PSX01001R, PSX01001K, PSX01001M, PSX01001P, PSX01101R, PSX01101K, PSX01101M, PSX01101P, PSX05001R, PSX05001K, PSX05001M, PSX05001P, PSX05101R, PSX05101K, PSX05101M, PSX05101P, PGSV01P01, PGSG01P01, PGSH01P01, PGSA01P01, PGSV61P01, PGSG61P01, PGSH61P01, PGSA61P01, PGSV01P05, PGSG01P05, PGSH01P05, PGSA01P05, PGSV61P05, PGSG61P05, PGSH61P05, PGSA61P05, PGSV01P10, PGSG01P10, PGSH01P10, PGSA01P10, PGSV61P10, PGSG61P10, PGSH61P10, PGSA61P10, PGSV01P20, PGSG01P20, PGSH01P20, PGSA01P20, PGSV61P20, PGSG61P20, PGSH61P20, PGSA61P20, PGSV01P30, PGSG01P30, PGSH01P30, PGSA01P30, PGSV61P30, PGSG61P30, PGSH61P30, PGSA61P30, PSF01P01, PSFG01P01, PSFH01P01, PSFA01P01, PSF61P01, PSFG61P01, PSFH61P01, PSFA61P01, PSF01P10, PSFG01P10, PSFH01P10, PSFA01P10, PSF61P10, PSFG61P10, PSFH61P10, PSFA61P10, PSF01P20, PSFG01P20, PSFH01P20, PSFA01P20, PSF61P20, PSFG61P20, PSFH61P20, PSFA61P20, PS4001P01, PS40G01P01, PS40H01P01, PS40A01P01, PS4061P01, PS40G61P01, PS40H61P01, PS40A61P01, PS4001P10, PS40G01P10, PS40H01P10, PS40A01P10, PS4061P10, PS40G61P10, PS40H61P10, PS40A61P10, PP10010E1, PP10010T1, PP10010T6, PP10F10E1, PP10710E1, PP30010E1, PP30010T1, PP30010T6, PP30F10E1, PP30710E1, PP50010E1, PP50010T1, PP50010T6, PP50F10E1, PP50710E1, PP1H010E1, PP1H010T1, PP1H010T6, PP1HF10E1, PP1H710E1, PP2H010E1, PP3H010E1, PP4H010E1, PP03010E1, PP03F10E1, PP03710E1, PP06010E1, PP06F10E1, PP06710E1, WG65C4, WG65C8, WG115C8, WG115C12, DEF04A, DEF02A, DEF115, DEF65, DEF25, WGSF02K, WGSF04K, WGSF08K, WGSF01K, WGSF10K, WGSF16M, WGLS04S, WGLS08S, WGLS16S, WGPL04K, WGPL08K, WGPL16K, PSX30001M, PSX30101M, PSX30201M, PSX30301M, PSX30401M, PSX40001P, PSX40101P, PSX40201P, PSX40301P, PSX40401P, PSX10001R, PSX10101R, PSX10201R, PSX10301R, PSX20001K, PSX20101K, PSX20201K, PSX20301K, PGSA1P01Y, PGSA1P02Y, PGSA1N01Y, PGSA1N02Y, PGSA2P01Y, PGSA2P02Y, PGSA01P01Y, PGSA01P02Y, PGSA01N01Y, PGSA01N02Y, NT4110-F02, NT4110-F04, NT4210-F04, NT4800-F04, NT4110-P02, NT4110-P04, NT4210-P04, 4100-F01, 4100-F02, 4100-F03, 4100-F04, 4210-K01, 4210-K02, 4210-K03, 4210-K04, 4150-N01, 4150-N02, 4150-N03, 4150-M01, 4150-M02, 4150-M03