品牌:Parker Hannifin (派克漢尼汾)
系列:VacuSeal? (超高純面密封接頭)
完整型號:4-GVGR-SSLP
連接尺寸:1/4 英寸
配置類型:帶固持槽型 (Retained Grooved Style)
主體材質:316/316L 不銹鋼
涂層說明:SSLP (Less Silver Plating / Unplated)
泄漏率:經氦質譜檢漏,優于?
?atm.cc/sec
工作溫度:最高可達?
壓力額定值:最高可達 9000 psi (約 620 bar)
重量信息:單件約為 0.005 - 0.01 kg (具體視包裝件數而定)
?
在半導體制造、光伏產業及高純氣體輸送系統中,系統的完整性與潔凈度是決定工藝良率的關鍵因素。Parker Hannifin(派克漢尼汾)推出的 VacuSeal 系列面密封接頭及配件,正是針對這些嚴苛環境而設計的行業標桿產品。型號為 4-GVGR-SSLP 的金屬墊片是該系列中極具代表性的核心組件,專為 1/4 英寸 VCR 類型的接口提供可靠的超高純密封保障。
核心性能與技術優勢:
該墊片展現了極高的氣密性。4-GVGR-SSLP 墊片采用獨特的交配環面設計。當接頭螺母旋緊時,墊片在兩個微精加工的環面(Toroid)之間發生塑性變形,形成金屬對金屬的強制密封。所有 VacuSeal 產品均經過嚴格的氦質譜測試,泄漏率控制在極低水平,能夠有效防止大氣雜質滲入系統或高危氣體外泄。
材料與潔凈度方面:
該墊片由優質 316L 不銹鋼制成,具有優異的耐腐蝕性和材料穩定性。后綴 SSLP 表示該型號為非鍍銀或減薄鍍層設計。在某些對銀離子敏感或特定的半導體工藝中,這種配置能顯著減少金屬顆粒產生,確保流道的絕對潔凈,避免工藝污染。
穩固的結構設計:
作為帶固持槽型墊片,它設計有專門的固持機構,能夠牢固地卡在接頭內,極大地方便了垂直安裝或狹窄空間內的組裝操作,避免了墊片滑脫導致的密封面受損,提高了現場作業的效率與安全性。
行業應用及推薦:
在真空技術和高壓氣體分布系統中,4-GVGR-SSLP 展現了極強的適應性。它能夠承受高壓沖擊,并能在極端溫度下保持密封效能。這使得它廣泛應用于晶圓加工設備的化學氣相沉積(CVD)、擴散爐及氣體箱(Gas Box)集成中。為了進一步提升系統可靠性,建議配套使用派克的 4-6V-SS 壓蓋或 4-VN-SS 螺母,以確保均勻的扭矩傳遞,構建完整的無泄漏流體控制鏈路。
4-GVGR-SS
4-GVGR-NI
4-GVGR-CU
4-GVGR-SSLP
4-GV-SS
4-GV-NI
4-GV-CU
8-GVGR-SS
8-GVGR-NI
8-GVGR-CU
2-GVGR-SS
2-GVGR-NI
2-GVGR-CU
12-GVGR-SS
16-GVGR-SS
4-VGR-SS
4-VGR-NI
4-VGR-CU
8-VGR-SS
8-VGR-NI
2-VGR-SS
2-VGR-NI
4-V-SS
4-V-NI
4-V-CU
8-V-SS
8-V-NI
2-V-SS
12-V-SS
16-V-SS
4-GVGR-SS-EP
4-GVGR-NI-EP
8-GVGR-SS-EP
4-VGR-SS-EP
4-6V-SS
4-6V-SS-L
4-6V-SS-2
4-6V-SS-3
4-6V-SS-0.5
8-12V-SS
8-12V-SS-L
2-2V-SS
16-16V-SS
4-VN-SS
8-VN-SS
2-VN-SS
12-VN-SS
16-VN-SS
4-MN-SS
8-MN-SS
2-MN-SS
4-V-SS-EP
8-V-SS-EP
2-V-SS-EP
4-G-SS
8-G-SS
2-G-SS
12-G-SS
4-P-SS
8-P-SS
2-P-SS
4-G-SS-L
8-G-SS-L
4-6V-SS-BW
8-12V-SS-BW
4-VN-SS-S
8-VN-SS-S
4-4-VHOA-SS
8-8-VHOA-SS
4-4-VLOA-SS
8-8-VLOA-SS
4-4-V6OA-SS
4-V1-SS
8-V1-SS
4-V2-SS
8-V2-SS
4-V3-SS
8-V3-SS
4-V4-SS
4-V5-SS
4-V7-SS
4-V8-SS
4-V9-SS
4-V10-SS
4-V11-SS
4-V12-SS
4-V13-SS
4-V14-SS
4-V15-SS
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4-V18-SS
4-V19-SS
4-V20-SS
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4-V30-SS
4-V31-SS
4-V32-SS
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4-V36-SS
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4-V120-SS
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4-V129-SS
4-V130-SS
4-V131-SS
4-V132-SS
4-V133-SS
4-V134-SS
4-V135-SS