美國 Entegris 應特格Wafergard 氣體 過濾器 WG3NS8RR2

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NTEGRIS應特格公司成立于1966年，總部設在美國馬薩諸塞州拜勒瑞卡，在美國、日本和馬業西亞等國家設有生產基地，在全球十一個國家設有銷售和服務中心。

　　應特格公司主要服務于半導體制造業，是一家材料整合管理公司。作為全球材料整合管理界的先行者，應特格為半導體制造提供包括純化過濾、流體傳送、芯片及其他關鍵材料的保護和傳送等方面的產品及服務。應特格公司以其高性能的產品及技術成為世界半導體廠商、設備制造商及材料供應商長期合作伙伴。

　　應特格公司憑借著在材料科學及分子污染控制領域的技術優勢，幫助客戶提高技術水平及產品成品率，包括半導體制造工藝中的光刻、濕法蝕刻、化學機械研磨、化學氣相沉積、晶片處理與貯運、測試及封裝等。

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液體光化學過濾器專為使用點 (PoU) 光刻工藝中的去離子水應用而設計。小巧的膠囊外形和干凈的膜/支撐/外殼材料可在 > 28 nm 節點應用中提供高純度污染物去除性能。

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為超純氣體系統過濾提供卓越的顆粒過濾，是高溫和動壓應用的理想選擇。

最先進的外殼組件通過最小化焊接面積來消除排氣
全金屬結構非常適合高溫和動壓應用
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了極致的設計效率并最大限度地降低了工程成本

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應用
Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性氣體和活性氣體

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產品規格

材料?? ?濾芯?? ?燒結鎳膜過濾器
??? ?住房?? ?電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?粒子?? ?<0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/立方英尺) >0.01 微米?? ?
??? ?揮發物?? ?H2O、O2和THC的揮發性釋氣量低于可檢測限（室溫下通過 RGA 和 FID 測定）
移除評級?? ?≥0.0015微米
內部表面光潔度?? ?≤5μin Ra
氦氣泄漏等級?? ?合格的?? ?2×10 -10大氣壓-立方厘米/秒
??? ?已測試?? ?1×10 -9個大氣壓-立方厘米/秒。
最高工作條件：?? ?最大入口壓力?? ?20°C (68oF) 時為 20 MPa (200 bar, 2900 psid)
??? ?設計壓力?? ?20°C (68oF) 時為 20 MPa (200 bar, 2900 psid)
??? ?最大正向/反向壓差?? ?1 兆帕（10 巴，150 磅/平方英寸）
??? ?最高工作溫度?? ?惰性氣體?? ?400°C (725°F) @ 35 巴 (500 psi)
??? ? ?? ?腐蝕性和活性氣體?? ?50°C (122°F) @ 70 巴 (1000 psi)
保修單?? ?5 年
顆粒保留?? ?在 15 slpm 下，可去除所有顆粒物 99.9999999% (9 LRV) 以上
流量等級?? ?參考性能數據