美國(guó) Entegris應(yīng)特格CBUG0S0S1 ?液體過濾器Optimizer? DI?
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ENTEGRIS應(yīng)特格公司成立于1966年，總部設(shè)在美國(guó)馬薩諸塞州拜勒瑞卡，在美國(guó)、日本和馬業(yè)西亞等國(guó)家設(shè)有生產(chǎn)基地，在全球十一個(gè)國(guó)家設(shè)有銷售和服務(wù)中心。
應(yīng)特格公司主要服務(wù)于半導(dǎo)體制造業(yè)，是一家材料整合管理公司。作為全球材料整合管理界的先行者，應(yīng)特格為半導(dǎo)體制造提供包括純化過濾、流體傳送、芯片及其他關(guān)鍵材料的保護(hù)和傳送等方面的產(chǎn)品及服務(wù)。應(yīng)特格公司以其高性能的產(chǎn)品及技術(shù)成為世界半導(dǎo)體廠商、設(shè)備制造商及材料供應(yīng)商長(zhǎng)期合作伙伴。
應(yīng)特格公司憑借著在材料科學(xué)及分子污染控制領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，幫助客戶提高技術(shù)水平及產(chǎn)品成品率，包括半導(dǎo)體制造工藝中的光刻、濕法蝕刻、化學(xué)機(jī)械研磨、化學(xué)氣相沉積、晶片處理與貯運(yùn)、測(cè)試及封裝等。
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液體光化學(xué)過濾器專為使用點(diǎn) (PoU) 光刻工藝中的去離子水應(yīng)用而設(shè)計(jì)。小巧的膠囊外形和干凈的膜/支撐/外殼材料可在 > 28 nm 節(jié)點(diǎn)應(yīng)用中提供高純度污染物去除性能。
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Optimizer? DI 過濾器應(yīng)用
行業(yè)：半導(dǎo)體（光刻）
化學(xué)：光化學(xué)品、溶劑
安裝點(diǎn)：工具點(diǎn)
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材料?? ?膜：?? ?上層建筑*
??? ?支撐、芯部、套管：?? ?高密度聚乙烯
??? ?住房：?? ?聚丙烯
膜面積?? ?直接投資?? ?1800 厘米2（1.94 平方英尺）
??? ?直鏈?? ?3600 厘米2（3.88 平方英尺）
??? ?DI-L（20 納米）?? ?2100 厘米2（2.26 平方英尺）
留存率?? ?直噴、直噴-L?? ?0.2、0.1、0.05 微米、20 納米
配件?? ?提供多種配件，包括 Super Type Pillar ?配件、壓縮密封件（Swagelok ?兼容配件）和 Flaretek ?配件。
工作條件?? ?最大入口壓力?? ?0.345 兆帕（3.45 巴、50 磅/平方英寸、3.52 千克/平方厘米）@ 25°C（77°F）
??? ?最大正向/反向壓差?? ?0.345 兆帕（3.45 巴、50 磅/平方英寸、3.52 千克/平方厘米）@ 25°C（77°F）
??? ? ?? ?0.28 兆帕（2.8 巴、40 磅/平方英寸、2.8 千克/厘米2）@ 25°C（77°F）
??? ?工作溫度?? ?60°C（140°F）
*表面改性UPE
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零件編號(hào)?? ?光刻技術(shù)?? ?長(zhǎng)度?? ?留存率?? ?聯(lián)系
CBUG0S0F1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.2 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，F(xiàn)laretek? 配件
CBUG0S0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.2 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，超級(jí) Pillar? 接頭
CBUG0S0S1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.2 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，壓縮配件
CBUG2L0P1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.2 微米?? ?1/2" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUG3L0P1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.2 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUG3L0S1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.2 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，壓縮配件
CBUG6S0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.2 微米?? ?6 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUG8L0P1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.2 微米?? ?8 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUG8S0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.2 微米?? ?8 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUV0L0P1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.1 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，超級(jí) Pillar? 接頭
CBUV0L0S1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.1 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，壓縮配件
CBUV0S0F1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，F(xiàn)laretek? 配件
CBUV0S0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，超級(jí) Pillar? 接頭
CBUV0S0S1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，壓縮配件
CBUV2L0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1 微米?? ?1/2" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUV3L0F1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)/排水 Flaretek? 配件
CBUV3L0P1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.1 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUV3L0S1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.1 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，壓縮配件
CBUV3S0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUV6S0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1 微米?? ?6 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUV8L0P1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.1 微米?? ?8 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUV8S0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1 微米?? ?8 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUX3L0P1?? ?氟化氫?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?20納米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUX8L0P1?? ?氟化氫?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?20納米?? ?8 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUX8S0P1?? ?氟化氫?? ?短膠囊?? ?20納米?? ?8 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUZ0L0S1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，壓縮配件
CBUZ0S0F1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，F(xiàn)laretek? 配件
CBUZ0S0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，超級(jí) Pillar? 接頭
CBUZ0S0S1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，壓縮配件
CBUZ2L0P1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/2" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUZ3L0F1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.05 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)/排水 Flaretek? 配件
CBUZ3L0P1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.05 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUZ3L0S1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.05 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，壓縮配件
CBUZ3L0X1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.05 微米?? ?—
CBUZ6S0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.05 微米?? ?6 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUZ8L0P1?? ?氟化鉀?? ?長(zhǎng)膠囊?? ?0.05 微米?? ?8 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件
CBUZ8S0P1?? ?氟化鉀?? ?短膠囊?? ?0.05 微米?? ?8 毫米入口/出口，4 毫米通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar? 配件