Wafergard? MAX 內(nèi)聯(lián)式?PTFE 氣體過濾器

這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。

PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低壓差應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧?
預(yù)處理以快速啟動(dòng)（僅限銀色）?

?

為超純氣體系統(tǒng)提供卓越的惰性氣體和活性氣體顆粒過濾。

• 最清潔、最高效的全金屬過濾器
• 獲得專利的鎳濾膜具有出色的耐腐蝕性以及與惰性氣體和活性氣體的出色兼容性*
• 最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接面積來消除排氣
• 全金屬結(jié)構(gòu)非常適合高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用
• 緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提高了設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本

_{*不建議與 CO、O 3}和低濃度氫化物摻雜氣體一起使用。

?

Wafergard? III NF 微型直列式氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性氣體和活性氣體

?

材料?? ?濾芯?? ?獲得專利的燒結(jié)鎳膜過濾器
??? ?住房?? ?電拋光 VAR 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?顆粒*?? ?小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/立方英尺)大于 0.01 微米
??? ?易揮發(fā)的**?? ?H2O、O2和THC的揮發(fā)性釋氣量低于可檢測(cè)限（室溫下通過 RGA 和 FID 測(cè)定）
移除評(píng)級(jí)?? ?≥0.0015微米
內(nèi)部表面處理?? ?≤5μin Ra
氦氣泄漏等級(jí)?? ?合格的?? ?2x10 -10 ?atm 立方厘米/秒。
??? ?已測(cè)試?? ?1x10 -9 ?atm 立方厘米/秒。
工作條件?? ?最大允許工作壓力（設(shè)計(jì)壓力）：207 bar (3000 psi) @ 100°C (212°F)
??? ?最大正向/反向壓差：35 bar (500 psid)
??? ?最高工作溫度：惰性氣體 400°C (752°F) @ 35 bar (500 psi)；腐蝕性和活性氣體：50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
保修單?? ?5 年
顆粒保留?? ?去除所有顆粒的效率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的顆粒大小為參考）
流量等級(jí)?? ?參考性能數(shù)據(jù)

?

零件編號(hào)?? ?配件尺寸和類型?? ?長(zhǎng)度
WG3NS5RR2?? ?1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/出口?? ?84.1 毫米 (3.31")
WG3NSMFF2?? ?1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）母入口/出口?? ?58.4 毫米 (2.30")
WG3NSMFR2?? ?1/4" 極化墊圈密封（兼容 VCR 接頭）母入口/公出口?? ?71.1 毫米 (2.80")
WG3NSMJJ2?? ?1/4" 對(duì)接焊入口/出口?? ?28.4 毫米 (1.12")
WG3NSMSL2?? ?1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/出口?? ?50.8 毫米 (2.00")