ENTEGRIS應(yīng)特格公司成立于1966年，總部設(shè)在美國馬薩諸塞州拜勒瑞卡，在美國、日本和馬業(yè)西亞等國家設(shè)有生產(chǎn)基地，在全球十一個(gè)國家設(shè)有銷售和服務(wù)中心。
應(yīng)特格公司主要服務(wù)于半導(dǎo)體制造業(yè)，是一家材料整合管理公司。作為全球材料整合管理界的先行者，應(yīng)特格為半導(dǎo)體制造提供包括純化過濾、流體傳送、芯片及其他關(guān)鍵材料的保護(hù)和傳送等方面的產(chǎn)品及服務(wù)。應(yīng)特格公司以其高性能的產(chǎn)品及技術(shù)成為世界半導(dǎo)體廠商、設(shè)備制造商及材料供應(yīng)商長期合作伙伴。
應(yīng)特格公司憑借著在材料科學(xué)及分子污染控制領(lǐng)域的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，幫助客戶提高技術(shù)水平及產(chǎn)品成品率，包括半導(dǎo)體制造工藝中的光刻、濕法蝕刻、化學(xué)機(jī)械研磨、化學(xué)氣相沉積、晶片處理與貯運(yùn)、測(cè)試及封裝等。
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美國 Entegris 應(yīng)特格 過濾器 WGMXMSRR4 現(xiàn)貨
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Wafergard? MAX 內(nèi)聯(lián)式?PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低壓差應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
適用于惰性氣體和活性氣體，包括臭氧?
預(yù)處理以快速啟動(dòng)（僅限銀色）?
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Wafergard? MAX 內(nèi)聯(lián)式?PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體兼容
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
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材料?? ?濾芯?? ?由模制 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水性 PTFE 膜
??? ?住房?? ?電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?粒子?? ?小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/立方英尺)大于 0.01 微米
??? ?揮發(fā)物（銀）?? ?<10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（最低檢測(cè)限為 5 ppb）
移除評(píng)級(jí)?? ?≥0.0015微米
內(nèi)部表面處理?? ?WGMX（青銅）MB XXXX?? ?≤20μin Ra
??? ?WGMX（銀/銅加）MS XXX/XXX?? ?≤7μin Ra
氦氣泄漏等級(jí)?? ?合格的?? ?2 x 10 -10大氣壓-立方厘米/秒
??? ?已測(cè)試?? ?1 x 10 -9大氣壓-立方厘米/秒
工作條件
??? ?最大入口壓力
??? ?銀和青銅以及 1?4" 和 1?2" VCR ?兼容配件：7.0 MPa（70 bar，1015 psig）
??? ? ?? ?青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容配件：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
??? ? ?? ?青銅和青銅加 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok ?兼容接頭：6.0 MPa（60 bar，870 psig）
??? ?最大正向壓差?? ?7 巴 (102 psid)
??? ?最大反向壓差?? ?2.5 巴（36 磅/平方英寸）
??? ?最高工作溫度?? ?120°C（248°F）
流量等級(jí)?? ?參考性能數(shù)據(jù)
保修單?? ?青銅?? ?1 年
??? ?銀?? ?3 年
顆粒保留?? ?去除所有顆粒的效率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的顆粒大小為參考）
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零件編號(hào)?? ?配件尺寸和類型?? ?長度
WGMXMBPRF2?? ?1/4" 公頭 VCR? 兼容入口，1/4" 母頭 VCR? 兼容出口?? ?141.2 毫米 (5.6")
WGMXMBRR2?? ?兼容 1/4" 公頭 VCR??? ?127 毫米 (5.00")
WGMXMBRR4?? ?兼容 1/2" 公頭 VCR??? ?127 毫米 (5.00")
WGMXMBSS2?? ?1/4" Swagelok? 兼容?? ?112.7 毫米 (4.44")
WGMXMBSS3?? ?兼容 3/8" Swagelok??? ?117.9 毫米（4.64）
WGMXMBSS4?? ?1/2" Swagelok? 兼容?? ?118.7 毫米 (4.67")
WGMXMPRR2?? ?兼容 1/4" 公頭 VCR??? ?127 毫米 (5.00")
WGMXMPRR4?? ?兼容 1/2" 公頭 VCR??? ?127 毫米 (5.00")
WGMXMPSS2?? ?1/4" Swagelok? 兼容?? ?112.7 毫米 (4.44")
WGMXMPSS3?? ?兼容 3/8" Swagelok??? ?117.9 毫米（4.64）
WGMXMPSS4?? ?1/2" Swagelok? 兼容?? ?118.7 毫米 (4.67")
WGMXMSBW2?? ?1/4" 對(duì)接焊管?? ?133.4 毫米 (5.25")
WGMXMSBW3?? ?3/8" 對(duì)接焊管?? ?133.4 毫米 (5.25")
WGMXMSBW4?? ?1/2" 對(duì)接焊管?? ?133.4 毫米 (5.25")
WGMXMSRR2?? ?兼容 1/4" 公頭 VCR??? ?127 毫米 (5.00")
WGMXMSRR4?? ?兼容 1/2" 公頭 VCR??? ?127 毫米 (5.00")