美國 Entegris 應特格 過濾器 WGFGMBRR4 全新
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應用 - - 用于光伏電池的工藝氣體 - 用于平板顯示器的工藝氣體 - 氣柜 - 閥組箱體 - 配氣盤：MFC 下游、MFC 上游、壓力調節器上游 - 工藝室上游 - 清洗/通風/壓力控制管線：特點和優點 - - 低壓降過濾器，節省時間和成本 - 從輸入氣體中去除大于 0.0015 μm 的顆粒，最大限度地減少工藝缺陷 - 占地面積小，更易于實施 - 該產品的內表面 Ra ≤25 μin，為壓縮空氣、惰性氣體和工藝氣體的過濾提供了經濟高效的解決方案 - 在潔凈室制造、焊接和測試，具有高可靠性
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規格 - 材料 過濾器元件 疏水性 PTFE 膜，由成型 PFA 結構支撐 外殼 電拋光 316L 不銹鋼 顆粒保留率 ≥99.9999999% (9 LRV)（以穿透力最強的顆粒尺寸為基準）@ 500 slpm 去除等級 ≥0.0015 μm 內部表面光潔度 ≤25 μin Ra 氦氣泄漏等級 合格 2 × 10-11 Pa m3 /sec (2 × 10-10 atm cc/sec) 測試 1 × 10-9 Pa m3 /sec (1 × 10-8 atm cc/sec) 工作條件 最大工作壓力： 6.最大正向壓差：0.703 兆帕（7.03 巴，102 psid），23°C (73°F) 最大反向壓差：0.248 兆帕（2.48 巴，36 psid），23°C (73°F) 最高工作溫度：在惰性氣體中為 120°C (248°F) 流量額定值 參見性能數據
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