在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進行卓越的微粒過濾。
- 緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地面積，節省了寶貴的設備空間
- PTFE膜提供高效過濾，提高產品產量
- 低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風險
- 與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的相容性
- 用于惰性和活性氣體，包括臭氧
- 臭氧應用（氣體）
- 煤氣柜
- 超純氣體系統
- 閥組箱
- 煤氣板
| 材料 |
濾芯 |
由模制 PFA 結構支撐的疏水性 PTFE 膜 |
| 住房 |
電拋光 316L 不銹鋼 |
| 下游清潔度 |
粒子 |
<0.03 個顆粒/升（<1 個顆粒/ft?3) >0.01μm |
| 揮發物 |
<10 ppb 水分 |
| 移除等級 |
0.0015 微米 |
? |
| 表面處理內飾 |
≤10 微英寸 Ra |
? |
| 氦泄漏等級 |
合格的 |
2 × 10?-10?atm/cc-sec |
| 已測試 |
1 × 10?-9?atm/cc-sec |
| 濃度分辨率 |
±0.015 ppm |
| 運行條件 |
最大入口壓力： |
20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F) |
| 最大正向壓差： |
0.4 MPa（4 巴；60 psid）@ 23°C（73°F） |
| 最大壓差： |
0.07 兆帕（0.7 巴；10 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F) |
| 最高工作溫度： |
120°C (248°F) |
| 顆粒保留 |
大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒 @ 100 slpm（以最具穿透性的顆粒尺寸為參考） |
| 流量等級 |
參考性能數據 |