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工業 備件

美國 MKS 化學下游等離子源 AX7610RPN1-Q

  • 美國 MKS 化學下游等離子源 AX7610RPN1-Q

  • 美國 MKS 化學下游等離子源 AX7610RPN1-Q

    AX7610 是用于遠程等離子體應用的微波等離子體源。AX7610 下游源具有可更換的石英或藍寶石等離子管，可提供配置靈活性以滿足最苛刻的應用工藝參數。石英管版本非常適合生產原子氧、氮或氬。藍寶石管版本與更嚴格的 CF?4?CHF?3和 NF?3?化學物質兼容。

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    • 用于氟和非氟化學品的藍寶石或石英放電管
    • 具有高功率和吞吐量的專利傳導冷卻設計
    • 易于集成
    • 適用范圍廣
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