640B 絕對壓力控制器是一個獨立的、緊湊的閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)，包含一個 Baratron? 電容壓力計、常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。640B 在電氣方面類似于標(biāo)準(zhǔn) MFC，由 ±15 VDC 供電，電流僅為 200 mA，允許與標(biāo)準(zhǔn)電源和顯示電子設(shè)備一起使用。壓力輸出和輸入控制信號為線性 0-5 或 0-10 VDC。兩個帶 LED 狀態(tài)指示燈的跳變點用作簡單的開/關(guān)過程限制。
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- 集成 Baratron? 電容壓力計技術(shù)
- 低壓過程的滿量程范圍低至 10 Torr
- 可與上游或下游控制器應(yīng)用程序一起使用
- 用于過程限制控制的兩個報警觸發(fā)點
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類型
640B 絕壓控制器
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壓力范圍
10、100、1000 mmHg（托）、60、100 psi（滿量程）
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配件類型
4 VCR、8 VCR、0.25 英寸管或表面貼裝
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流速
50、200、1000、5000、10000、20000、50000 sccm（N2 的標(biāo)稱滿量程流速，入口壓力為 15 psig，出口壓力為大氣壓）
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跳閘點
兩個集電極開路晶體管
額定值：250 mA @ 30 VDC
可調(diào)：滿量程的 1 至 100%
遲滯：滿量程的 3%
指示器：啟動時綠色 LED 亮起
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壓力控制精度
滿量程的 ±0.2%
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傳感器超壓限制
45 psia 或 2x 滿量程，以較大者為準(zhǔn)
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最大壓差
20,000 和 50,000 sccm 孔口為 30
psi 50 至 10,000 sccm 孔口為 150 psi
（與傳感器超壓限制一致）
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控制方式
下游標(biāo)準(zhǔn)；上游可選
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壓力測量精度
讀數(shù)的 ±0.5%（包括線性度、遲滯和可重復(fù)性）
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零溫度系數(shù)
零位：滿刻度的 ±0.02%/°C
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跨度溫度系數(shù)
跨度：讀數(shù)的 ±0.04%/°C
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控制范圍
>2 到 100% 的滿量程
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典型響應(yīng)時間
<1.0 秒（不包括系統(tǒng)時間常數(shù)）
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工作溫度
0 - 50°C（32° 至 122°F）
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儲存溫度
-20 至 80°C（-4° 至 176°F）
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外部泄漏完整性
<10?-9?scc/秒 He
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通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性
彈性體閥：<10?-4?scc/sec He
金屬閥：<1% 滿量程 (N2 @ 1 atm. ΔP)
Kel-F 閥：<0.5% 滿量程 (N2 @ 1 atm. ΔP)
（通過關(guān)閉閥門）*
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接液材料
標(biāo)準(zhǔn)：316L SS、316L/VAR SS、鉻鎳鐵合金、鎳
可選：Viton?、Kalrez?、Kel-F?
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所需電源
±15 VDC ±5%，最大 200 mA
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連接器接口
15 針公頭“D”型
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儀表響應(yīng)時間
<100 毫秒
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射頻干擾靈敏度
SAMA 33.1，1-abc：<滿量程的 0.2%
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輸入輸出信號
0-5 VDC 標(biāo)準(zhǔn)；0-10 VDC 可選
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電纜長度
最大 100 英尺 (30 m)
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重量
2.54 磅。（1.15 公斤）
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方面
1.5 英寸（38.1 毫米）x 4.88 英寸（124 毫米）（4 VCR）x 5.50 英寸（140 毫米）最大
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遵守
CE認(rèn)證