美國(guó) Entegris 英特格 直通式氣體過(guò)濾器 WG3NS8RR2 全新
美國(guó) Entegris 英特格 直通式氣體過(guò)濾器 WG3NS8RR2 全新
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為超純氣體系統(tǒng)過(guò)濾提供卓越的微粒過(guò)濾，是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
- 最先進(jìn)的外殼組件通過(guò)最小化焊接區(qū)域來(lái)消除除氣
- 全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
- 緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本
| 材料 |
濾芯 |
燒結(jié)鎳膜過(guò)濾器 |
| ? |
住房 |
電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼 |
| 下游清潔度 |
粒子 |
<0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft?3） >0.01 μm |
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揮發(fā)物 |
H?2?O、O?2和 THC 的揮發(fā)性脫氣低于檢測(cè)限（在室溫下通過(guò) RGA 和 FID） |
| 移除等級(jí) |
≥0.0015 微米 |
| 表面飾面內(nèi)飾 |
≤5μin Ra |
| 氦泄漏等級(jí) |
合格的 |
2 × 10?-10?atm-cc/秒。 |
| ? |
已測(cè)試 |
1 × 10?-9?atm-cc/秒。 |
| 最大操作條件： |
最大入口壓力 |
20°C (68oF) 時(shí)為 20 MPa（200 bar，2900 psid） |
| ? |
設(shè)計(jì)壓力 |
20°C (68oF) 時(shí)為 20 MPa（200 bar，2900 psid） |
| ? |
最大正向/反向壓差 |
1 兆帕（10 巴，150 磅/平方英寸） |
| ? |
最高工作溫度 |
惰性氣體 |
400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi) |
| ? |
? |
腐蝕性和反應(yīng)性氣體 |
50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi) |
| 保修單 |
5年 |
| 顆粒保留 |
在 15 slpm 時(shí)去除所有顆粒大于 99.9999999% (9 LRV) |
| 流量等級(jí) |
參考性能數(shù)據(jù) |